Влияние анизотропии монокристаллического кремния на динамические характеристики микроэлектромеханических резонаторов

Автор(и)

  • Ирина Анатольевна Киршина Санкт-Петербургский государственный университет аэрокосмического приборостроения, Російська Федерація
  • Павел Александрович Окин Санкт-Петербургский государственный университет аэрокосмического приборостроения, Російська Федерація
  • Олег Михайлович Филонов Санкт-Петербургский государственный университет аэрокосмического приборостроения, Російська Федерація

DOI:

https://doi.org/10.20535/S0021347014110065

Ключові слова:

микроэлектромеханические резонатор, чувствительность колебательной системы, динамические характеристики, монокристаллический кремний

Анотація

Проведен сравнительный анализ топологических решений на этапе проектирования микроэлектромеханических резонаторов. Изучена зависимость чувствительности колебательной системы от ее ориентации по отношению к базовым кристаллографическим осям. Разработаны рекомендации по выбору топологии планарной конструкции в зависимости от характера решаемых изделием задач.

Посилання

Филонов О. М. Особенности проектирования чувствительных элементов МЭМС с резонансными измерительными преобразователями / О. М. Филонов, И. А. Киршина, П. А. Окин // Фундаментальные и прикладные исследования в современном мире : IV междунар. научно-практ. конф., дек. 2013, Санкт-Петербург, Россия : тр. конф. — Санкт-Петербург, 2013. — С. 37–39.

Гридчин В. А. Физика микросистем / В. А. Гридчин, В. П. Драганов. — Новосибирск : НГТУ, 2004.

Тимошенко С. П. Колебания в инженерном деле / С. П. Тимошенко. — М. : Машиностроение, 1985.

Опубліковано

2014-11-22

Як цитувати

Киршина, И. А., Окин, П. А., & Филонов, О. М. (2014). Влияние анизотропии монокристаллического кремния на динамические характеристики микроэлектромеханических резонаторов. Вісті вищих учбових закладів. Радіоелектроніка, 57(11), 51–56. https://doi.org/10.20535/S0021347014110065

Номер

Розділ

Оригінальні статті