Влияние анизотропии монокристаллического кремния на динамические характеристики микроэлектромеханических резонаторов
DOI:
https://doi.org/10.20535/S0021347014110065Ключові слова:
микроэлектромеханические резонатор, чувствительность колебательной системы, динамические характеристики, монокристаллический кремнийАнотація
Проведен сравнительный анализ топологических решений на этапе проектирования микроэлектромеханических резонаторов. Изучена зависимость чувствительности колебательной системы от ее ориентации по отношению к базовым кристаллографическим осям. Разработаны рекомендации по выбору топологии планарной конструкции в зависимости от характера решаемых изделием задач.
Посилання
- Филонов О. М. Особенности проектирования чувствительных элементов МЭМС с резонансными измерительными преобразователями / О. М. Филонов, И. А. Киршина, П. А. Окин // Фундаментальные и прикладные исследования в современном мире : IV междунар. научно-практ. конф., дек. 2013, Санкт-Петербург, Россия : тр. конф. — Санкт-Петербург, 2013. — С. 37–39.
- Гридчин В. А. Физика микросистем / В. А. Гридчин, В. П. Драганов. — Новосибирск : НГТУ, 2004.
- Тимошенко С. П. Колебания в инженерном деле / С. П. Тимошенко. — М. : Машиностроение, 1985.
##submission.downloads##
Опубліковано
2014-11-22
Як цитувати
Киршина, И. А., Окин, П. А., & Филонов, О. М. (2014). Влияние анизотропии монокристаллического кремния на динамические характеристики микроэлектромеханических резонаторов. Вісті вищих учбових закладів. Радіоелектроніка, 57(11), 51–56. https://doi.org/10.20535/S0021347014110065
Номер
Розділ
Оригінальні статті
