Динамическое моделирование электростатически управляемого MEMS-конденсатора в диапазоне рабочих температур (293...323) K

Автор(и)

  • Федор Федорович Колпаков Национальный аэрокосмический университет им. Н. Е. Жуковского, Україна
  • Наталья Григорьевна Борзяк Национальный аэрокосмический университет им. Н. Е. Жуковского, Україна

DOI:

https://doi.org/10.20535/S002134700805004X

Анотація

Предложена динамическая модель микроэлектромеханического (MEMS) конденсатора с электростатическим управлением на базе теории многостороннего преобразователя А. А. Харкевича с учетом теплового воздействия. Проведено моделирование двухэлектродного емкостного MEMS-преобразователя, определены динамические зависимости величины хода электрода и емкости (а также время срабатывания устройства) при температурах окружающей среды в диапазоне (293...323) K. Получена и проанализирована динамическая характеристика механического сопротивления системы с учетом рабочей температуры и параметров MEMS-конденсатора.

Посилання

Dec A. Micromachined electro–mechanically tunable capacitors and their applications to RF IC’s / A. Dec, K. Suyama // IEEE Trans. Microwave Theory Tech. — Dec. 1998. — Vol. 46, No. 12. — P. 2587–2596.

Courtois B. TIMA Laboratory. Annual Report 1997 / B. Courtois. — May, 1998. — 312 p.

Колпаков Ф. Ф. Тепловое моделирование MEMS-конденсатора с электростатическим управлением / Ф. Ф. Колпаков, Н. Г. Борзяк // Вісн. технол. ун-ту Поділля. : Ч. 1. — Т. 2 : Технічні науки. — Хмельницький, 2005. — № 4. — С. 37–41.

Колпаков Ф. Ф. Квазистатические характеристики системы двухэлектродных MEMS-конденсаторов / Ф. Ф. Колпаков, Н. Г. Борзяк // Радиотехника. — 2007. — № 148. — С. 245–249.

Режим доступа : http:www.microfabrica.com.

Режим доступа : http:www.corning.com.

Gilbert J. R. 3D Coupled Electro–mechanics for MEMS: Applications of CoSolve–EM / J. R. Gilbert, R. Legtenberg and S. D. Senturia // MEMS’95. — P. 122–127.

Ланцов В. Н. Состояние в области проектирования микроэлектромеханических систем / В. Н. Ланцов, О. В. Рудаков, С. В. Маскеев. — Владимир : ВГУ, 1999. — 31 с.

Харкевич А. А. Теория электроакустических преобразователей : избр. труды : в 3 т. Т. 1 / А. А. Харкевич. — М. : Наука, 1973. — 400 с.

Математическая энциклопедия : в 5 т. Т. 5. — М. : Сов. энцикл., 1977–1985. — 722 с.

Опубліковано

2008-05-04

Як цитувати

Колпаков, Ф. Ф., & Борзяк, Н. Г. (2008). Динамическое моделирование электростатически управляемого MEMS-конденсатора в диапазоне рабочих температур (293.323) K. Вісті вищих учбових закладів. Радіоелектроніка, 51(5), 33–42. https://doi.org/10.20535/S002134700805004X

Номер

Розділ

Оригінальні статті