Киршина ИА, Окин ПА, Филонов ОМ. Влияние анизотропии монокристаллического кремния на динамические характеристики микроэлектромеханических резонаторов. Вісті вузів. Радіоелектроніка [інтернет]. 22, Листопад 2014 [цит. за 30, Квітень 2024];57(11):51-6. доступний у: https://radio.kpi.ua/article/view/S0021347014110065