Колпаков ФФ, Борзяк НГ. Динамическое моделирование электростатически управляемого MEMS-конденсатора в диапазоне рабочих температур (293. 323) K. Вісті вузів. Радіоелектроніка [інтернет]. 04, Травень 2008 [цит. за 24, Листопад 2024];51(5):33-42. доступний у: https://radio.kpi.ua/article/view/S002134700805004X