[1]
И. А. Киршина, П. А. Окин, і О. М. Филонов, «Влияние анизотропии монокристаллического кремния на динамические характеристики микроэлектромеханических резонаторов», Вісті вузів. Радіоелектроніка, т. 57, вип. 11, с. 51–56, Лис 2014.