КИРШИНА, И. А.; ОКИН, П. А.; ФИЛОНОВ, О. М. Влияние анизотропии монокристаллического кремния на динамические характеристики микроэлектромеханических резонаторов. Вісті вищих учбових закладів. Радіоелектроніка, [S. l.], v. 57, n. 11, p. 51–56, 2014. DOI: 10.20535/S0021347014110065. Disponível em: https://radio.kpi.ua/article/view/S0021347014110065. Acesso em: 24 лис. 2024.