Колпаков, Ф. Ф., & Борзяк, Н. Г. (2008). Динамическое моделирование электростатически управляемого MEMS-конденсатора в диапазоне рабочих температур (293.323) K. Вісті вищих учбових закладів. Радіоелектроніка, 51(5), 33–42. https://doi.org/10.20535/S002134700805004X