Киршина, И. А., Окин, П. А., & Филонов, О. М. (2014). Влияние анизотропии монокристаллического кремния на динамические характеристики микроэлектромеханических резонаторов. Вісті вищих учбових закладів. Радіоелектроніка, 57(11), 51–56. https://doi.org/10.20535/S0021347014110065