[1]
Киршина, И.А., Окин, П.А. і Филонов, О.М. 2014. Влияние анизотропии монокристаллического кремния на динамические характеристики микроэлектромеханических резонаторов. Вісті вищих учбових закладів. Радіоелектроніка. 57, 11 (Лис 2014), 51–56. DOI:https://doi.org/10.20535/S0021347014110065.