Открытый доступ Открытый доступ  Ограниченный доступ Доступ по подписке
Поверхность серебрянной пленки

Использование пленки наноструктурированного серебра в многослойной контактной системе Tі/Mo/Ag кремниевых ФЭП

Виктория Михайловна Коваль, Анатолий Васильевич Иващук, Юрий Иванович Якименко, Михаил Григорьевич Душейко, Юрий Владимирович Ясиевич, Геннадий Семенович Хрипунов, Евгений Иванович Сокол

Аннотация


В работе синтезированы многослойные контактные системы Ti/Ag и Ti/Mo/Ag с наноструктурованными пленками серебра двумя вакуумными методами — методом электронно-лучевого испарения и ВЧ-магнетронного распыления. С помощью данных атомно-силовой микроскопии, рентгеновской дифракции и масс-спектроскопии вторичных нейтралей в работе исследовано влияние метода нанесения и режимов отжига на процессы зернообразования в серебряных тонких пленках и массоперенос между металлическими слоями контактной системы. Установлено уменьшение удельного поверхностного сопротивления разработанных контактов и соответственно увеличение тока короткого замыкания гетеропереходных кремниевых солнечных элементов.

Ключевые слова


наноструктурированная тонкая пленка; многослойная металическая система; Ti/Mo/Ag; фронтальный контакт; солнечный элемент

Полный текст:

PDF

Литература


Jha A. R. Solar Cell Technology and Applications / A. R. Jha. — Boca Raton : CRC Press, 2009. — 308 p.

Low-cost contact formation of high-efficiency crystalline silicon solar cells by plating / D. S. Kim, E. J. Lee, J. Kim, S. H. Lee // J. Korean Phys. Soc. — 2005. — Vol. 46, No. 5. — P. 1208–1212. — DOI : http://dx.doi.org/10.3938/jkps.46.1208.

The nature of screen printed front side silver contacts—results of the project MikroSol / R. Hoenig, M. Duerrschnabel, W. Mierlo, Z. Aabdin, J. Bernhard, J. Biskupek, O. Eibl, U. Kaiser, J. Wilde, F. Clement, D. Biro // Energy Procedia. — 2013. — Vol. 43. — P. 27–36. — DOI : http://dx.doi.org/10.1016/j.egypro.2013.11.085.

Vinod P. N. Specific contact resistance measurements of the screen-printed Ag thick film contacts in the silicon solar cells by three-point probe methodology and TLM method / P. N. Vinod // J. Mat. Science: Materials in Electronics. — 2011. — Vol. 22, No. 9. — P.1248–1257. — DOI : http://dx.doi.org/10.1007/s10854-011-0295-z.

Hilali M. M. A review and understanding of screen-printed contacts and selective-emitter formation / M. M. Hilali, A. Rohatgi, B. To // Crystalline Silicon Solar Cells and Modules : 14th Workshop NREL, 8–11 Aug. 2004, Winter Park, Colorado, USA : proc. — 2004. — P. 109–116, August, 2004.

Solanki C. S. Solar Photovoltaics: Fundamentals, Technologies And Applications / C. S. Solanki. — Delhi : PHI Learning Private Limited, 2015. — 506 p.

Luque A. Handbook of Photovoltaic Science and Engineering / A. Luque, S. Hegedus. — Chichester : John Wiley & Sons Ltd, 2003. — 1180 p.

Electrical characterization, metallurgical investigation, and thermal stability studies of (Pd, Ti, Au)-based ohmic contacts / E. F. Chor, D. Zhang, H. Gong, W. K. Chong, S. Y. Ong // J. Appl. Phys. — 2000. — Vol. 87, No. 5. — P. 2437–2444. — DOI : http://dx.doi.org/10.1063/1.372198.

Temperature dependence of contact resistance of Au–Ti–Pd2Si–n+–Si ohmic contacts / A. E. Belyaev, N. S. Boltovets, R. V. Konakova, Ya. Ya. Kudryk, A. V. Sachenko, V. N. Sheremet // Semicond. Phys. Quantum Electron. Optoelectron. — 2010. — Vol. 13, No. 4. — P. 436–438. — URL : http://www.journal-spqeo.org.ua/n4_2010/v13n4-2010-p436-438.pdf.

Ezawa H. Alloying behaviour of electroplated Ag film with its underlying Pd/Ti film stack for low resistivity interconnect metallization / H. Ezawa, M. Miyata, K. Tatsumi // J. Alloys Compd. — 2014. — Vol. 587. — P. 487–492. — DOI : http://dx.doi.org/10.1016/j.jallcom.2013.10.182.

Green M. A. Ag requirements for silicon wafer-based solar cells / Martin A. Green // Prog. Photovolt.: Res. Appl. — 2011. — Vol. 19, No. 8. — P. 911–916. — DOI : http://dx.doi.org/10.1002/pip.1125.

Koval V. M. Nanocrystalline silicon multilayer structures for optoelectronics / V. M. Koval, O. V. Bogdan, Y. I. Yakymenko // Nanotechnologies and Biomedical Engineering : 2nd Int. Conf. ICNBME-2013, 18–20 Apr. 2013, Chisinau, Moldova : proc. — 2013. — Р. 208–211. — URL : http://www.icnbme.sibm.md/files/icnbme_2013_proc/articles/SECTION%20Nanotechnologies%20and%20Nanomaterials/103.pdf.

Koval V. Study of nanocrystalline silicon thin films for application in solar cells / V. Koval, O. Bogdan, Yu. Yakymenko // 4th Int. Conf. NANOCON, 23–25 Oct. 2012, Brno, Czech Republic : proc. — 2012. — P. 138–143.

A new environmental friendly silver front contact paste for crystalline silicon solar cells / Q. Che, H. Yang, L. Lu, Y. Wang // J. Alloys Compd. — 2013. — Vol. 549. — P. 221–225. — DOI : http://dx.doi.org/10.1016/j.jallcom.2012.09.080.

Гременок В. Ф. Солнечные элементы на основе полупроводниковых материалов / В. Ф. Гременок, М. С. Тиванов, В. Б. Залеcский. — Минск : БГУ, 2007. — 222 с.

Андриевский Р. А. Наноструктурные материалы / Р. А. Андриевский, А. В. Рагуля. — М. : Академия, 2005. — 192 с.

Драгунов В. П. Основы наноэлектроники : Учеб. пособие / В. П. Драгунов, И. Г. Неизвестный, В. А. Гридчин. — М. : Логос, 2006. — 494 с.

Воронов С. А. Физическое материаловедение : Ч. 1 / С. А. Воронов, Л. П. Переверзева, Ю. М. Поплавко. — К. : НТУУ КПИ, 2004. — 195 с.




DOI: https://doi.org/10.20535/S0021347016020011

Метрики статей

Загрузка метрик ...

Metrics powered by PLOS ALM

Ссылки

  • На текущий момент ссылки отсутствуют.





© Известия высших учебных заведений. Радиоэлектроника, 2004–2017
При копировании активная ссылка на материал обязательна
ISSN 2307-6011 (Online), ISSN 0021-3470 (Print)
т./ф. +38044 204-82-31, 204-90-41
Условия использования сайта